對話江蘇福拉特：半導體濕法設備，國產替代正當時

國產設備能以清洗設備為突破口，讓我們在更多細分領域看到“國產力量”。

如今的半導體產業，已經是現代社會不可或缺的重要支柱之一。從計算機、到智能手機，再到人工智能，幾乎所有的科技領域都離不開芯片的應用。

正是在這個高度競爭的市場，芯片制造商們一直努力提高芯片的性能，一方面在芯片制程上不斷突破物理極限，另一方面在設計、封裝等環節研發新的工藝。然而，隨著芯片尺寸的不斷縮小，微小雜質及污染物對于芯片良率和性能的影響開始變得越來越顯著。

而半導體清洗作為貫穿硅片制造、晶圓制造、封裝等環節的基礎工序，同樣開始朝著精細化、專業化的方向發展。

值得一提的是，近年來國產半導體清洗設備不斷精進，是半導體設備中國產化率較高的類別之一。

在前不久舉辦的“2024世界半導體大會”上，鎂客網有幸與專攻半導體清洗技術的江蘇福拉特自動化設備有限公司（以下簡稱“福拉特”）進行了一次深度交流。

作為一家提供“一站式”服務的半導體設備供應商，福拉特在國內半導體清洗行業名聲漸起，其產品更是打破了國外大廠的壟斷。

團隊耕耘20年載，專注濕法設備技術突破

根據定義，按照清洗介質不同，半導體清洗技術可以分為濕法清洗和干法清洗兩種工藝路線，其中濕法清洗為當前主流技術路線。

所謂濕法清洗，指的是用液體化學溶劑或無離子水，通過腐蝕、溶解、化學反應等方法，使硅片表面的雜質與溶劑發生化學反應，生成可溶性物質、氣體或直接脫落，從而達到清潔硅片的目的。

福拉特告訴鎂客網，目前濕法清洗的運用范圍非常廣泛，不僅在硅片制造、先進封裝等常見半導體行業場景里，在泛半導體行業，對于這種清洗技術同樣有所需求。

因此，根據使用場景的不同，濕法清洗技術路線又被細分成單片清洗設備、槽式清洗設備、批式旋轉噴淋清洗設備和洗刷器等類別，其中單片和槽式清洗設備是目前主流的清洗設備，而福拉特目前在這兩條主流路線上均有相關產品推出。

在本次大會上，福拉特帶來了公司最新的單片濕法設備以及槽式濕法設備，其產品規格最高支持19nm，是目前國內一流水平。除此以外，福拉特另一大主力產品——藥液濃度在線檢測儀，可針對多領域使用的藥液進行濃度測量、在線檢測分析與管理，同樣也在業內得到了市場驗證以及客戶認可。

總的來說，福拉特的優勢在于其產品可以覆蓋客戶的大部分需求；而另一方面，福拉特更是國內少有的“一站式”濕法設備供應商。

據介紹，從行業現狀來看，國內大部分企業的清洗主設備和附屬設備一般由不同供應商提供，而福拉特可以同時提供硬件以及配套軟件。

因此對于客戶來講，無論是前期評估成本、后期運營成本、還是整體采購成本，“一站式采購”都能做到節省大量成本，為企業實現降本增效。

值得一提的是，福拉特2011年于昆山成立，并在2017年成立南京研發制造中心，但在這之前，福拉特的核心團隊已經在濕法工藝領域耕耘了20余年左右，積累了相當豐富的經驗。

正是憑借對技術的熱愛以及市場的敏銳洞察力，福拉特可以輕松滿足客戶的定制化需求或產品匹配。

最終在口碑的不斷積累下，福拉特在業內打響名聲。

國產替代正當時，扛起重任

從全球大環境來看，半導體清洗設備市場主要被日本迪恩士、東京電子、細美事和泛林半導體把持，四家公司合計市場占有率達到90%以上，市場格局較為集中。

但由于清洗設備本身占據成本空間并不大，且復雜程度較刻蝕設備、薄膜沉積設備等類別相對較低，因此也是國產化可能性最大的類別之一。

作為國內領先的濕法制程設備供應商，福拉特在近些年的發展歷程中，明確了以“中國創造引領半導體顯示裝備發展”為愿景，并堅持以“科技創新，強大中國半導體顯示裝備產業”為使命，著眼于攻克行業前沿和卡脖子技術。

據介紹，福拉特在吸納海外優秀技術的同時，其技術團隊也在不斷調研國內市場環境。針對國內缺失的技術或環節，福拉特的技術團隊持續地進行研發、完善與迭代。最終在應用場景的不斷積累與豐富之后，福拉特在技術上已實現國內領先8項、唯一3項、首創3項，其產品也打破了國外廠商的壟斷。

而從長期發展目標來看，福拉特除了會繼續在濕法設備端耕耘以外，未來還會在材料等環節投入精力，為開拓泛半導體應用場景打好基礎。

結語

如今的半導體清洗工藝，幾乎貫穿了整個集成電路生產過程。同時，隨著線寬不斷縮小，對于顆粒和薄膜厚度的控制要求越來越高，半導體清洗工藝的重要性日益凸顯，市場逐年擴大。

可以說，以濕法清洗為代表的新技術，保證了芯片產品的性能和良率，可謂“錦上添花“，足以看出該市場的潛能。

另一方面，以福拉特為代表的國產半導體廠商，在技術層面的持續耕耘，為國產替代注入了更多的動力，也為更多企業的發展提供了出色的模板。

相信在不久的未來，國產設備能以清洗設備為突破口，讓我們在更多細分領域看到“國產力量”。

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